本文摘要：
目前，我国传感器行业规模较小，应用于范围较宽。目前，我国传感器行业规模较小，应用于范围较宽。为此，我们必需转变观念，将传感器的研发由单一物性型传感器的研发，转化成为高度构建的新型传感器研发。新型传感器的研发和应用于已沦为现代系统的核心和关键，它将沦为21世纪信息产业新的经济增长点。我国早在20世纪60年代就开始投身于传感器制造业。
我国在1972年重新组建正式成立中国第一批压阻传感器研制生产单位；1974年，研制成功中国第一个简单压阻式压力传感器；1978年，问世中国第一个固态压阻加速度传感器；1982年，国内最先开始硅微机械系统（MEMS）加工技术和SOI（绝缘体上硅）技术的研究。转入20世纪90年代后，硅微机械加工技术的意味著压力传感器、微压传感器、呼吸机力传感器、多晶硅压力传感器、低成本TO－8PCB压力传感器等相继问世并构建生产。改革开放30年来，我国传感器技术及其产业获得了长足进步，主要展现出在：创建了传感技术国家重点实验室、微米／纳米国家重点实验室、国家传感技术工程中心等研究研发基地；MEMS、MOEMS（微光机电系统）等研究项目列为了国家高新技术发展重点；在“九五”国家重点科技攻关项目中，传感器技术研究获得了51个品种86个规格新产品的成绩，可行性创建了敏感元件与传感器产业；2007年传感器业总产量超过20．93亿只，品种规格最迟6000种，并已在国民经济各部门和国防建设中获得一定应用于。
几十年来，微电子技术增进了传感器技术的发展。未来10年～20年，传统硅技术将转入成熟期（预计在2014年～2017年）。从总体发展看，传统硅技术市场将仍然沿袭到2047年（即晶体管发明者100周年）才渐趋饱和状态（即超过芯片特征尺寸的无限大）并衰落。而当前微电子技术仍将依从“等缩比原理”和“摩尔定律”两条基础定律回头下去，在迫近传统硅技术无限大中，大大拓展硅的跨学科纵向应用于（如MEMS等）和更加先进设备应用于（量子、分子器件）。
而上述微电子技术的两大发展方向正是当前乃至未来20年传感器技术的主要发展方向。
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